第二百八十二章 滴胶

    第二百八十二章 滴胶 (第1/3页)

    民勤县，西南侧的高新技术产业园。

    春节期间还有很多人员留下来工作。

    其中海陆丰公司、民勤集团、长江存储和几家国产半导体设备企业组成的521实验室、522实验室、523实验室，不仅仅没有放假，反而在过年期间，陆陆续续增加了很多科研人员过来。

    这三个联合实验室目前有493名研究员，244名行政和后勤人员。

    521实验室的区域内。

    通过冷冻电镜和其他原子扫描设备的辅助，几个研究员终于将密集的镀银硅纳米管和一些实心的碳化硅管组合在一起。

    这些细微的镀银硅纳米管被实心碳化硅纳米管分割成为一个个特殊的图案，这些图案就是单层芯片结构中的一部分，也是不需要光刻的那一部分。

    本质上光刻工艺，就是通过极紫外光将一部分需要清除的光刻胶溶破坏掉，然后通过清洗，将被破坏的光刻胶去掉，最后采用蚀刻、沉积等工艺，将这些凹槽利用起来。

    当然，实际操作起来，这些工艺会非常复杂，需要反复进行光刻、蚀刻、沉积、擦洗几十次，甚至几百上千次都有可能。

    而此时这些研究员的目的，就是打算通过镀银硅纳米管，解决国内一直难以追赶西方的顶尖光刻机技术。

    “如何？”

    可以看到原子排列结构的显影设备，此时正在显示出一个非常庞大的结构画面，负责检查的研究员抬起头来：“组长，这一片滴胶印模已经检查完成，没有发现排列错误的结构。”

    组长叶瑾随即吩咐道：“那就送去切割吧！”

    “好。”另一个研究员接手了切割工作。

    线切工作室内，长度为20厘米的滴胶印模被一点点切割，分割成为非常精确的1厘米厚度。

    这些1厘米厚度的滴胶印模板，就是滴胶工艺的核心部件。

    叶瑾和其他几个小组长讨论着接下来的安排。

    “老刘，现在模板已经做好了，我们开始试验，你们硅片准备好了？”

    老刘是一个地中海中年人，他笑着回道：“早就准备好了，就等你们的模板。”

    “那就按照之前的安排，开始进行测试吧！希望一切顺利。”叶瑾此时心里面也是非常忐忑。

    “别紧张，船到桥头自然直。”老刘边说边拿起文件夹，看着上面的一些资料：“522那边的胶料已经准备好了？”

    说话的人，是来自于国内一家光刻胶企业的研究员：“那是自然，别小看我们，由于不需要考虑光刻处理，咱们只需要带电的胶材料，这种要求可比光刻胶低了几个量级。”

    当然，实际的研究中，这种胶材料并没有那么容易，但难度至少比光刻胶低很多，一番研究之后，522实验室就拿出了几款比较适合的滴胶材料。

    老刘看着资料，顿时心里面有一种豪情万丈的感觉：“中微半导体的蚀刻机调试好了，现在万事俱备了，我们开始吧！”

    “同意。”

    “也好，是骡子是马，总要拉出来试一试。”

    “我感觉成功率应该非常高。”

    “你小子倒是有信心，如果成功了，大家都要名垂青史了。”

    不一会。

    他们来到了负责测试的523实验室。

    随着滴胶印模板插入滴胶机中，滴胶室内的空气已经被抽空，替换成为不会和胶材料反应，也不会发生电离反应的高纯度惰性气体。

    同时除尘设备也持续运行着，保持这个滴胶室内的高度洁净，避免灰尘被电离吸引，从而影响滴胶机的性能。

    纯水清洗后的8寸硅片，经过干燥之后，被机器送入滴胶机之中。

    滴胶机的模板也是圆形，还有一个刚刚好的卡槽，可以刚好可以和硅片对准，保证硅片和模板被完全固定，避免滴胶模印过程中，出现细微的移动。

    一个研究员表情非常紧张，手掌心都在冒汗，他颤抖着手指，轻轻按在启动开关上。

    滴！

    通电之后的滴胶器，其滴胶模板将上面储存器的胶液吸入，通过电磁加速让带电胶液快速从上往下拉。

    刹那间，一滴滴细微的纳米级胶滴，从模板下方滴落在硅片表面，这些胶滴很快就形成一个个滴点，而这些滴点彼此之间融合在一起，形成一道道纹路。

    随即滴胶机断电，仅仅滴落一滴胶液，剩下的胶液被管道裹挟着，根本滴落不下去。

    滴胶机离开硅片上方，紧接着光固化设备向硅片表面发射出特定的紫外线，对胶滴图案进行光固化。

    叶瑾急不可耐地说道：“快，看看图案有没有问题。”

    老刘摇了摇头：“叶博士别急呀！多做几片，到时候一起送检。”

    “好吧！”

    不到半个小时，滴胶室内就连续生产了几十片滴胶硅片。

    负责测试滴胶图案的研究小组，也将一批批滴胶硅片送去实验室的检测。

    所有人都不由自主地沉默下来，他们都在等待结果。

    时间一分一秒过去了。

    大概过了两个小时。

    “呼呼…”一个研究员拿着一份报告跑过来。

    所有人顿时齐刷刷盯着他。

    “呼呼…好消息，滴胶图案没有出现缺陷，可以开始进

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